Wellenlänge 193 nm

 

  •   sehr leistungsfähiger Excimerlaser
  •   niedriger Jitter
  •   sehr gute Puls zu Puls Stabilität
  •   lange Gaslebensdauer
  •   lange Haltbarkeit der Optiken
  •   coronafreie Ionisierung
  •   eingebaute Vakuum Pumpe
Modell EX5A EX5 EX10
Pulsenergie (max) [mJ]
14
12
6
Repetitionsraten [Hz]
250/500/1000
300
Durchschnittsleistung [W]
6.0 @ 500 Hz
5.0 @ 500 Hz
1.8 @ 300 Hz
Pulslänge [nS]
8 - 10
8
6 - 8
Strahlabmessung [mm]
6 x 3 / V x H
Modell EX50 EX100 EX350
Pulsenergie (max) [mJ]
35
75
125
Repetitionsraten [Hz]
250/500/750/1000
60/125/250/500
20/50
Durchschnittsleistung [W]
10 @ 500 Hz
16 @ 250 Hz
5 @ 50 Hz
Pulslänge [nS]
17 - 20
15 - 22
20 - 26
Strahlabmessung [mm]
9 x 4 / V x H
10 x 5 / V x H
19 x 7 / V x H