Wellenlänge 193 nm
- Sehr leistungsfähiger Excimerlaser
- Niedriger Jitter
- Sehr gute Puls zu Puls Stabilität
- Lange Gaslebensdauer
- Lange Haltbarkeit der Optiken
- Coronafreie Ionisierung
- Eingebaute Vakuum Pumpe
| Modell | EX5A | EX5 | EX10 |
|---|---|---|---|
|
Pulsenergie (max) [mJ] |
14 |
12 |
6 |
|
Repetitionsraten [Hz] |
250/500/1000 |
300 |
|
|
Durchschnittsleistung [W] |
6.0 @ 500 Hz |
5.0 @ 500 Hz |
1.8 @ 300 Hz |
|
Pulslänge [nS] |
8 – 10 |
8 |
6 – 8 |
|
Strahlabmessung [mm] |
6 x 3 / V x H |
||
| Modell | EX50 | EX100 | EX350 |
|---|---|---|---|
|
Pulsenergie (max) [mJ] |
35 |
75 |
125 |
|
Repetitionsraten [Hz] |
250/500/750/1000 |
60/125/250/500 |
20/50 |
|
Durchschnittsleistung [W] |
10 @ 500 Hz |
16 @ 250 Hz |
5 @ 50 Hz |
|
Pulslänge [nS] |
17 – 20 |
15 – 22 |
20 – 26 |
|
Strahlabmessung [mm] |
9 x 4 / V x H |
10 x 5 / V x H |
19 x 7 / V x H |