Wellenlänge 157 nm

 

  •   Sehr leistungsfähiger Excimerlaser
  •   Niedriger Jitter
  •   Sehr gute Puls zu Puls Stabilität
  •   Lange Gaslebensdauer
  •   Lange Haltbarkeit der Optiken
  •   Coronafreie Ionisierung
  •   Eingebaute Vakuum Pumpe
Modell EX5A EX5
Pulsenergie (max) [mJ]
1.5
Repetitionsraten [Hz]
250/500/1000
Durchschnittsleistung [W]
0.5 @ 500 Hz
0.65 @ 500 Hz
Pulslänge [nS]
8 - 10
8
Strahlabmessung [mm]
6 x 3 / V x H
Modell EX50 EX100 EX350
Pulsenergie (max) [mJ]
2.5
10
20
Repetitionsraten [Hz]
250/500/750/1000
60/125/250/500
20/50
Durchschnittsleistung [W]
1.0 @ 500 Hz
2.0 @ 250 Hz
0.9 @ 50 Hz
Pulslänge [nS]
17 - 20
15 - 22
20 - 26
Strahlabmessung [mm]
9 x 4 / V x H
10 x 5 / V x H
19 x 7 / V x H