Wellenlänge 157 nm
- Sehr leistungsfähiger Excimerlaser
- Niedriger Jitter
- Sehr gute Puls zu Puls Stabilität
- Lange Gaslebensdauer
- Lange Haltbarkeit der Optiken
- Coronafreie Ionisierung
- Eingebaute Vakuum Pumpe
| Modell | EX5A | EX5 | |
|---|---|---|---|
|
Pulsenergie (max) [mJ] |
1.5 |
||
|
Repetitionsraten [Hz] |
250/500/1000 |
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Durchschnittsleistung [W] |
0.5 @ 500 Hz |
0.65 @ 500 Hz |
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Pulslänge [nS] |
8 – 10 |
8 |
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Strahlabmessung [mm] |
6 x 3 / V x H |
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| Modell | EX50 | EX100 | EX350 |
|---|---|---|---|
|
Pulsenergie (max) [mJ] |
2.5 |
10 |
20 |
|
Repetitionsraten [Hz] |
250/500/750/1000 |
60/125/250/500 |
20/50 |
|
Durchschnittsleistung [W] |
1.0 @ 500 Hz |
2.0 @ 250 Hz |
0.9 @ 50 Hz |
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Pulslänge [nS] |
17 – 20 |
15 – 22 |
20 – 26 |
|
Strahlabmessung [mm] |
9 x 4 / V x H |
10 x 5 / V x H |
19 x 7 / V x H |
