XeCI @ 308 nm

Baureihe EX 5 EX 10 EX 50 EX 100
Pulsenergie (max) [mJ]
8 (4 @ 1000 Hz)
15
20
45
Rep.Raten [Hz]
250 / 500 / 1000
300 / 600
250 / 500 / 750 / 1000 / 2000
125 / 250 / 500 / 750
Leistung (max) [W]
2,5
6
30
24
Gaslebensdauer (statisch) [Tage]
60
365
365
365
Gaslebensdauer (bis 50 % Nennenergie) [Mio. Pulse]
15 x 10
50 x 10
30 x 10
50 x 10
Serviceintervall (Optiken) [Mio. Pulse]
150
150
300
150
Strahlabmessungen [mm]
3 x 6
8 x 3
9 x 4
9 x 4