ArF @ 193 nm

Baureihe EX 5 EX 10 EX 50 EX 100
Pulsenergie (max) [mJ]
12 (8 @ 1000 Hz)
20
35
55
Rep.Raten [Hz]
250 / 500 / 1000
300 / 600
250 / 500 / 750 / 1000 / 2000
125 / 250 / 500 / 750
Leistung (max) [W]
4
7
32
18
Gaslebensdauer (statisch) [Tage]
20
60
90
60
Gaslebensdauer (bis 50 % Nennenergie) [Mio. Pulse]
12 x 10
20 x 10
25 x 10
20 x 10
Serviceintervall (Optiken) [Mio. Pulse]
150
150
300
150
Strahlabmessungen [mm]
3 x 6
8 x 3
9 x 4
9 x 4