Excimerlaser


GAM Laser Inc, entwickelt und produziert Excimer-Laser. Aufgrund der Metall / Keramik-Resonator-Technologie können herausragende Lebensdauerdaten erreicht werden.
Dank Koronaentladung weisen die Excimer-Laserröhren von GAM LASER nach Milliarden von Pulsen einen minimalen Verschleiß auf und müssen nicht ausgetauscht werden. Aufgrund der hohen Gleichmäßigkeit der Korona-Vorionisierung ergibt die Laserleistung eine hervorragende Pulsstabilität   (< 2 % Standardabweichung).

Neben den Standardsystemen liefert GAM-Laser auch spezielle Lasertypen für industrielle OEM-Kunden oder auch für die Halbleiterindustrie.

Produkteigenschaften

  • Excimerlaser mit Wellenlängen von 351, 305, 248, 193 und 157 nm
  • Rep.-Rate bis zu 1000 Hz ( 2kHz für spezielle Modelle)
  • Pulsenergie bis zu 70 mJ, Ausgangsleistung bis zu 70 W
  • Lange Lebensdauer der Gasfüllungen und der Laserröhre

Die Excimer-Laser der Firma GAM-Laser zeichnen sich grundsätzlich durch eine hohe
Gas-Lebensdauer aus. Dies wird erreicht durch die Vorionisierung mit“soft-corona-Entladung“. Diese verhindert starken Elektrodenabbrand. In Kombination mit besonders resistenten Materialien und einer speziellen Oberflächenbehandlung ergibt sich maximale Gaslebensdauer.

Alle Laser verfügen über eine interne Vakuum-Pumpe und Halogenid-Filter für
einfachsten Gaswechsel. Als Sonderausführung sind die Laser auch mit instabile Resonatoren (für besonders niedrige Strahldivergenz), als schmalbandiges System (mit großer Kohärenzlänge)
oder als Reinraum-geeignetes System lieferbar.